X射線源：X射線熒光測厚儀的核心部分是X射線源，它產生高能X射線，激發被測材料中的熒光X射線。X射線源通常由X射線管和高壓電源組成。X射線管是密封真空的，陰極是鎢絲，陽極是鎢制成的目標靶。當熱電子撞到陽極靶時，動能轉換成熱和X射線，穿透射線管以光子的形式發射出去。

　　探測器：探測器用于接收和測量熒光X射線。熒光X射線具有特定的能量和波長，因此探測器需要進行能量分析和波長鑒別，以確定被測材料的成分和厚度。常用的探測器有半導體探測器、閃爍體探測器和電離室等。

　　信號處理和控制系統：信號處理和控制系統對探測器接收到的信號進行處理和控制，計算出被測材料的厚度和成分。它通常包括放大器、濾波器、ADC（模數轉換器）等部件，將探測器輸出的信號轉換為數字信號，并通過計算機軟件進行數據處理和分析。

　　操作界面和計算機：操作界面和計算機用于設定和操作儀器，顯示測量結果。操作界面可以顯示實時測量數據、校準曲線等信息，并且可以設置儀器參數、保存數據等。計算機通過與操作界面通信，對數據進行處理和分析，最終得出被測材料的厚度和成分。

　　其他輔助部件：為了確保儀器的準確性和可靠性，X射線熒光測厚儀可能還包括其他輔助部件，例如冷卻系統、高壓電源、真空系統等。這些部件的作用是確保儀器在最佳狀態下工作，提高測量準確性和穩定性。

　　總之，X射線熒光測厚儀是一個復雜的系統，各個組成部分的協同工作才能實現準確的測量。